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MEMS微振鏡

所屬分類:MEMS微振鏡 閱讀次數:5465 發布時間:2024-10-16

一種用于雙軸光學掃描的高性能振鏡。采用MEMS技術在硅襯底上形成鏡面,通過電磁驅動實現水平掃描和垂直掃描。


應用場景
  • 車載激光雷達

  • 車載HUD

  • 智能車燈

  • 微投影

  • 工業自動化

  • 醫療OCT

產品技術特點
  • 水平:諧振式驅動

  • 垂直:線性驅動

  • 雙軸獨立驅動,低串擾

  • 大視場角(FOV)

  • 體積小

  • 低功耗

  • 可靠性高,已通過內部類車規級可靠性測試

  • 內置角度和溫度傳感器

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